洁净室的洁净度的要求很是严格，一般的吸尘设备并不能解决洁净室的问题，而且很容易造成二次污染，
真空吸尘系统，是一种高负压的中央吸尘系统，系统的负压一般在1000~5000mmH2O。主要应用于电子、轻工、食品、医药等行业相应的工段中。其特点是管内流速快，吸风量小、负压高。可以根据具体情况采用布袋或滤筒作为过滤芯。如：较长的纤维类粉尘适合采用布袋，而过滤精度要求高占地要求小的非纤维粉尘适合采用聚酯滤筒作为过滤芯。
在各国的洁净室标准中，相同级别的非单向流洁净室的经验换气次数并不相同。我国《洁净厂房设计规范》（GB 50073-2001）中明确规定了不同级别的非单向流洁净室洁净送风量计算所需的经验换气次数.
（1）洁净室必须维持一定的正压，可通过使送风量大于排风量的办法达到，并应有指示压差的装置。
（2）空气洁净度等级不同的相邻房间之间的静压差应大于5Pa，洁净室（区）与室外大气的静压差应大于10Pa，并应有批示压差的装置。
（3） 工艺过程产生大量粉尘、有害物质、易烯易爆物质及生产青霉素类强致敏性***，某些甾体***，任何认为有致病作用的微生物的生产工序，其操作室与其相邻房间或区域应保持相对负压。
